Chipmetrics Oy kaupallistaa VTT:llä kehitetyn testisirun

Kolmiulotteisuus on puolijohdeteollisuuden megatrendi, sillä sen avulla voidaan parantaa transistorien ja muistipiirien suorituskykyä ja energiatehokkuutta. Mikromittakaavan uudet rakenteet ja materiaalit sekä kutistuva geometria ovat haasteita puolijohdevalmistajille, koska ne edellyttävät kolmiulotteisuuteen kehitettyjä prosessilaitteita, mittausta ja testausta. PillarHall on ratkaisu näihin haasteisiin.

Tekoäly integroituu kaikkialle ja muun muassa älykäs liikenne, datakeskukset ja lääketieteellinen tekniikka vaikuttavat ihmisten elämään. Komponenteilta vaaditaan nyt suurempaa luotettavuutta kuin koskaan, ja tämän varmistamiseksi tarvitaan enemmän mittausta ja testausta. PillarHall-testisiru soveltuu ohutkalvorakenteiden valmistusprosessien luotettavaan, nopeaan ja kustannustehokkaaseen vertailuun. Sen avulla voidaan mitata ohutkalvoprosessin peittävyyttä eli kykyä pinnoittaa 3D-kappale tasaisesti. 

- Kertakäyttöistä PillarHall-testisirua voi käyttää erilaisten 3D-ohutkalvoprosessien ja reaktorien vertailussa. Menetelmä on poikkeuksellinen, sillä tyypillisesti mittausta on tehty suoraan prosessikiekolta vaativilla ja kalliilla mittalaitteilla. Testisirun avulla voidaan nopeuttaa prosessien kehittämistä ja myös monitoroida tuotantoa tulevaisuudessa, kertoo Chipmetricsin perustaja, TkT Mikko Utriainen.

Testisiru perustuu syvään teknologiseen osaamiseen: taustalla on atomikerroskasvatuksen eli ALD:n huippututkimus Suomessa sekä VTT:n kokemus MEMS-valmistusprosesseista. Testisirua on kehitetty VTT:llä eri tutkimushankkeissa vuodesta 2013 alkaen. Kehitys on tapahtunut VTT:llä Micronovassa, joka on ainutlaatuinen tutkimusta ja teollista toimintaa yhdistävä yhteiskäyttöinen tutkimus-, kehitys- ja tuotantoympäristö. VTT:n ja AALTO-yliopiston lisäksi Micronovassa toimii noin 20 yritystä.

Testisirun alkuvaiheen markkinan painopiste on ALD. ALD-laitteiden ja -prosessien kehittäjät sekä komponenttien valmistajat ovat ottaneet testisirun vastaan suurella kiinnostuksella. Lisäksi ratkaisulla voidaan kehittää mitä tahansa muutakin ohutkalvoprosessiteknologiaa, jolla vastataan 3D-vaatimuksiin.    

VTT on jo koeponnistanut testisirua kansainvälisillä markkinoilla. Teknologian kaupallistaminen voimistaa tätä kehitystä ja Chipmetrics tähtääkin globaaliin liiketoimintaan. ALD-teknologiaa hyödynnetään laajamittaisesti monilla korkean teknologian aloilla. PillarHall-testisiru on tärkeä osoitus Suomen vahvasta ALD-osaamisesta ja vahvistaa asemaamme tämän teknologian sovellusalueilla.